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陕西光电子先导院先进光子器材立异毕生3月30日在西安周全启用。该毕生具有光子芯片制程中的光刻、刻蚀、蒸镀等多项焦点工艺，将为光子工业项目供给产品研制、中试、检测等全流程手工服务，为光子工业种种立异主体打通从产品研制到市场化批量供货的完好链条。

该毕生的启用，标志着陕西向打造具有全球影响力的光子工业生态高地的战略意图又迈出了坚实的一步，将招引更多光子工业立异要素会聚陕西，培养一批具有先发优势和全球竞争力的光子工业冠军企业，推进光子工业向集群化、规划化、高产量化成长。

完结光子工业链上下游企业群集

记者从陕西光电子先导院领会到，先进光子器材工程立异毕生占地30亩，建有中试车间、中试大楼、综合楼和动力站等研制和中试配套设备，总建筑面积约30000平方米，清洁厂房3000平方米，一期专业配备100余台（套），具有以GaAs（砷化镓）、GaN（氮化镓）为主线，环绕6英寸化合物芯片工艺服务才能的柔性中试毕生，以手工服务与工程代工相连系的方法，为光子工业孵化项目供给产品研制、中试、检测等全流程手工服务。

绑架，先进光子器材工程立异毕生将有用处理第三代化合物半导体芯片制作的外延成长与制程等要害问题，为光电芯片、功率器材、射频器材等芯片规划企业、高校、科研院所供给外延成长、光刻、刻蚀、薄膜制备、洗濯、减薄、抛光、划片等芯片制作全流程服务。

先进光子器材工程立异毕生经过与立异企业连续举办联合研制，光子芯片制程中的光刻、刻蚀、蒸镀等多项焦点工艺手工不断霸占，毕生软硬件背离已不断完善，将连续助力光子工业链上下游企业群集。

乐成破解光子企业“两难”窘境

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作为“追光规划”与“秦创原”成效转化及展示毕生，陕西光电子先导院尽力发挥陕西光子工业链“链主”企业效果，经过稀缺毕生资源 专业手工服务，为处理实验室无法工程化立异成效，而老练芯片代工厂又难以接受小量立异产品产出的两难事态，完结了有用的工程化联接。

2014年，赛富乐斯半导体科技有限公司研制出半极性氮化镓材料，并耗时三年走到量产阶段。但是，出产所需MOCVD（金属有机化学气相堆积）外延炉配备一台就要耗资上万万，一条光电子芯片产线造价数以亿计，这关于这家几乎没有营收的草创企业来说是简直是天文数字。2016年末，陕西光电子先导院主动提出让赛富乐斯按租借的方法运用配备，企业首创人陈辰来到西安实地参观完出产线后，收拾抉择将公司落户西安。2017年，赛富乐斯正式上线4英寸半极性氮化镓材料，并从 2018年3月转化规划出产及出售，良率抵达95%以上，成为全球首家可以量产工业级半极性氮化镓材料的企业。

现在，陕西光电子先导院已培养和群集了近百家光子工业企业，入驻光电子范畴企业30余家，其间一半以上为海归高端创业团队，例如耶鲁大学团队、龚平博士团队、张文伟博士团队、程东博士团队等，成为光子范畴一流的立异生态和立异高地，在全球光子工业中与国外坚持同步，迎头抢占了光子工业“窗口期盈余”。

助力陕西抢占“光”先机

21 世纪被以为是“光子颁发”。当时，全球 IT 工业正处在“从电子到光子”的代代转化进程中，光子工业有望成为 21世纪*战略性、根底性、先导性的新兴工业。

陕西在光子工业方面具有明显优势。一方面，陕西具有中科院西安光机所、西电、西工大等一批光子学科完全、特征明显的大院大所和高校，科研成效丰富。另一方面，陕西光子工业集群已初具规划，迎头形成了光子制作、光子信息、光子传感等工业集群。绑架陕西在光子手工工业范畴有着深挚的科研根底，高折射率硅光芯片、微纳光波导、光栅耦合器和VCSEL（笔直腔面发射激光器）激光器、半极性GaN（氮化镓）光电芯片衬底材料等方面处于职业*水平。在全国新一轮科技革新和工业改变同我国改变成长方法的历史性交汇要害时期，为赢得先机，陕西推进实行了“追光规划”，抢抓光子工业高速增进的战略机遇。

2015年10月，陕西省科技厅、西安高新手工开发区与中国科学院西安光机所联合提议确立了陕西光电子先导院。陕西光电子先导院先进光子器材立异毕生作为陕西省2022年要点背离工程，项目仅用6个月就完结主体封顶，12个月完结了机电工程，14个月完结焦点配备搬入，16个月就完结毕生的正式启用，展示了 “追光速率”和“高新功率”。

未来，陕西光电子先导院将停步光子制作、光子材料与芯片、光子传感三大要点范畴，慎密交融秦创原立异驱动毕生，在加快统筹策划“追光规划”的进程中，尽力探究光子范畴“新式举国体制”的实践经历，引领光电职业成长，拥抱“光子颁发”。

中国科学院西循分院院长赵卫暗示：“期望陕西光电子先导院先进光子器材立异毕生启用后，可以招引更多光子工业立异要素会聚陕西，攻关一批引领未来的要害焦点手工，培养一批具有先发优势和全球竞争力的光子工业冠军企业，推进光子工业进一步向集群化、规划化成长。”